本文目录一览：
- 1、MEMS发展概述
- 2 、MEMS发展历史
- 3 、什么是MEMS?4步图解MEMS芯片制造
MEMS发展概述
1、MEMS，即微电子机械系统 ，是一种前沿的研发领域 ，它的特点是尺寸极小，最大尺寸不超过1厘米 ，甚至只有几个微米 ，厚度极其微薄。主要采用硅作为材料，这种材料具有与铁相当的强度和硬度 ，密度接近铝 ，且具有良好的电气性能，热传导性能类似于钼和钨。
2 、世纪70年代末至80年代初 ，MEMS迎来首次商业化浪潮 ，主要通过大型硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器 。这种传感器利用薄硅片振动膜在压力作用下的变形，通过改变表面的压敏电阻曲线 ，实现压力与电信号的转换 ，例如应用于汽车安全气囊和定位陀螺仪的电路设计 。
3 、MEMS，全称为Micro-Electro-Mechanical Systems，中文名为微机电系统技术。在不同国家的研究重点不同 ，MEMS的定义也有所差异 。美国的研究是在半导体集成电路工艺技术的基础上延伸和发展 ，融合了微细机械加工技术，形成了MEMS这一概念 。
MEMS发展历史
1、世纪70年代末至80年代初 ，MEMS迎来首次商业化浪潮 ，主要通过大型硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。这种传感器利用薄硅片振动膜在压力作用下的变形，通过改变表面的压敏电阻曲线 ，实现压力与电信号的转换 ，例如应用于汽车安全气囊和定位陀螺仪的电路设计 。
2 、有关微机械系统的历史，最早可以追溯到1959年12月 ，美国物理学家诺贝尔奖获得者R.P.Feynman在美国加州理工学院举行的美国物理协会年度会议上的科普演讲中 ，首次提出了MEMS概念 。
3 、如果将技术发展到一定的时候，用于制造磁悬浮 ，可以制造出速度更快、更稳定 、更节约能源的高速度列车。 纳米动力学：主要是微机械和微电机 ，或总称为微型电动机械系统(MEMS)，用于有传动机械的微型传感器和执行器 、光纤通讯系统，特种电子设备、医疗和诊断仪器等.用的是一种类似于集成电器设计和制造的新工艺 。
4 、早在1883年 ，首台恒温器的诞生开启了传感器技术的序幕；1940年代 ，红外传感器的出现标志着科技的一大进步 。至今，全球范围内已发展出超过35000种类型的传感器 ，如温度 、压力、声光电等 ，涵盖了消费级与工业级的广泛应用。
什么是MEMS?4步图解MEMS芯片制造
微机电系统(MEMS)是现代传感器领域的核心技术，它推动了传感器的微型化和智能化进程 ，极大地拓展了传感器的可能应用 。本文将通过直观的图解 ，逐步揭示MEMS芯片制造的四大关键步骤和原理：首先，MEMS技术基于微电子技术 ，通过微细加工手段在纳米级尺度上构建传感器的机械结构 。
mems芯片是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术 ，它的操作范围在微米范围内，比它更小的 ，在纳米范围类似的技术被称为纳机电系统。
MEMS 是 Micro-Electro-Mechanical System 的缩写 ，中文名称是微机电系统。MEMS芯片简而言之，就是用半导体技术在硅片上制造电子机械系统，再形象一点说就是做一个微米纳米级的机械系统 ，这个机械系统可以把外界的物理、化学信号转换成电信号 。这类芯片做出来可以干嘛？最常用的是承担传感功能 。
mems即微机电系统（英语：MicroelectromechanicalSystems ，缩写为MEMS）是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。比它更小的 ，在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统 。微机电系统（MEMS ，Micro-Electro-MechanicSystem）是一种先进的制造技术平台 。
MEMS，即微机电系统 ，是用半导体技术在硅片上制造的电子机械系统。这系统在微米纳米尺度下运作 ，能将物理 、化学信号转换成电信号 。MEMS芯片是一种多功能组件，它们在微米级的尺度上融合了电子和机械功能 ，具备高精度和高灵敏度 。这类芯片在工业 、医疗、军事等领域应用广泛 ，特别是作为传感器使用。
标签： 半导体芯片封装中的微系统技术
